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研磨品的制造方法技术
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文档序号:9547144
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本发明的目的在于提供一种制造方法,所述制造方法利用实质上不使用氧化铈作为研磨液中的游离磨料而能够得到与氧化铈同等的研磨效果的研磨工序,以低成本将信息记录介质用基板等各种基板或光学部件等中使用的玻璃、结晶化玻璃、结晶等脆性无机材料、或由上述材...
该专利属于株式会社小原所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社小原授权不得商用。
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