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本发明提供了一种双工位CVD炉，包括一个工艺腔室和两个辅助工作腔室；其中在长度方向上工艺腔室位于两个辅助工作腔室之间，三者通过真空阀门密封连接；工艺腔室上设置真空抽口和充气口；辅助工作腔室内安装有平移机构；平移机构在近工艺腔室的一端与石英舟...
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