下载一种发光二极管阵列的制备方法的技术资料

文档序号:9491290

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本发明公开了一种发光二极管阵列的制备方法,包括以下步骤:在晶圆上制作发光二极管;制作带有金属化图形的基板;其中,基板上表面具有金属焊点和导电通孔,基板下表面制备有金属电极,所述金属电极与导电通孔连接;利用晶圆键合工艺,将晶圆与基板进行对位和...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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