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一种曲面样品电子探针定量线扫描方法技术
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文档序号:9488815
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本发明提供一种曲面样品电子探针定量线扫描方法,用背散射电子图像找到样品分析区域,设置电镜加速电压、电子束流、束斑尺寸和面分布图最小移动步长、网格数据点阵,读取当前点坐标位置,移动下一点再读取该点坐标,直到所有网格点坐标位置全部读完;利用元素...
该专利属于鞍钢股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鞍钢股份有限公司授权不得商用。
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