下载过孔的检测方法和检测装置的技术资料

文档序号:9488238

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本发明公开了一种过孔的检测方法和检测装置,所述过孔设置于膜层中,所述检测方法包括:向所述过孔的内壁发射入射光线;接收由所述内壁反射形成的第一反射光线和由所述膜层的下底面反射形成的第二反射光线;根据所述第一反射光线和所述第二反射光线生成干涉图...
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