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应用于MOCVD反应室的双波长径向移动比色测温仪制造技术
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下载应用于MOCVD反应室的双波长径向移动比色测温仪的技术资料
文档序号:9477555
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本实用新型公开了一种应用于MOCVD反应室的双波长径向移动比色测温仪,包括红外辐射探头盒体,特征是:在红外辐射探头盒体内的中央设有分光片腔,在分光片腔中斜向放置有45度分光片,在红外辐射探头盒体内的上端设有上滤光片和上光感探测器,在红外辐射...
该专利属于南昌大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌大学授权不得商用。
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