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本发明涉及一种三轴微机械加速度计，包括基板和固定安装在基板上的加速度计主体。加速度计主体包括质量块、z轴检测电极板和平面检测单元。其中平面检测单元由四个检测模块组成，且四个模块分别沿x轴和y轴分布在质量块的周边，平面检测单元包括谐振器、杠杆...
该专利属于滕金燕所有，仅供学习研究参考，未经过滕金燕授权不得商用。

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