温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明揭示一种划线设备和方法以及一种多分裂系统。所述多分裂系统包含：工作台，其装载有待分裂的衬底；多个分裂模块，其通过在装载于所述工作台上的所述衬底的每一上表面和下表面上形成预定的切划线，来分裂所述衬底；配置模块，其以预定的分离间隔配置所述...
该专利属于ＳＦＡ工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＳＦＡ工程股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。