下载具有自对准互连件的半导体器件的技术资料

文档序号:9407502

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本发明公开了半导体器件以及用于制造半导体器件的方法。示例性半导体器件包括衬底,该衬底包括金属氧化物器件。金属氧化物器件包括设置在衬底中并且在沟道区中界面连接的第一掺杂区和第二掺杂区。第一掺杂区和第二掺杂区掺杂有第一类型掺杂剂。第一掺杂区具有...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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