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本发明涉及一种低微管100mm碳化硅晶片。公开了一种直径至少约100mm并且微管密度小于约25cm-2的高质量SiC单晶晶片。...
该专利属于科锐所有，仅供学习研究参考，未经过科锐授权不得商用。

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