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本发明公开了一种用于石英陶瓷坩埚的高强度氮化硅涂层，其原料组分及其重量百分比含量为：氮化硅粉末86～87.5%，氧化硼粉、硼酸粉或者硼砂粉12.5～14%。本发明通过在氮化硅涂层中引入适量的氧化硼，使其在氮化硅涂层高温处理过程中与石英坩埚表...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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