下载一种横向高压MOSFET及其制造方法的技术资料

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本发明涉及半导体技术,具体的说是涉及一种横向高压MOSFET及其制造方法。本发明的一种横向高压MOSFET,其特征在于,通过光刻和离子注入工艺在第二种导电类型半导体漂移区中形成第一种导电类型半导体降场层,通过光刻和离子注入工艺,在第二种导电...
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