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一种横向高压MOSFET及其制造方法技术
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文档序号:9382764
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本发明涉及半导体技术,具体的说是涉及一种横向高压MOSFET及其制造方法。本发明的一种横向高压MOSFET,其特征在于,通过光刻和离子注入工艺在第二种导电类型半导体漂移区中形成第一种导电类型半导体降场层,通过光刻和离子注入工艺,在第二种导电...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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