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一种晶圆级芯片尺寸封装方法,包括:在表面具有多个焊盘的芯片上形成钝化层,钝化层具有露出焊盘的第一开口;在钝化层上形成第一绝缘层,第一绝缘层的第一上表面设有凹槽,凹槽下方设有露出焊盘的第二开口,凹槽底部为第一绝缘层的第二上表面;形成覆盖凹槽及...该专利属于南通富士通微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通富士通微电子股份有限公司授权不得商用。
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一种晶圆级芯片尺寸封装方法,包括:在表面具有多个焊盘的芯片上形成钝化层,钝化层具有露出焊盘的第一开口;在钝化层上形成第一绝缘层,第一绝缘层的第一上表面设有凹槽,凹槽下方设有露出焊盘的第二开口,凹槽底部为第一绝缘层的第二上表面;形成覆盖凹槽及...