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一种电感及其形成方法、集成无源器件及其形成方法。所述电感的形成方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底上形成第一介质层；在所述第一介质层上形成金属层；在所述金属层上形成掩膜层，所述掩膜层中形成有第一开口和第二开口，所述第一开口的尺寸大于所...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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