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本发明提供一种热处理装置，既具有较为简单的构成，且仅利用空气冷却便可将加热状态的基板有效地冷却的热处理装置。本发明的热处理装置通过使环境气体从外部流入至收容着基板的收容部而将基板冷却，所述收容部包括：多个支撑销，用以水平地支撑基板；开口部，...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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