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公开了用于对晶圆进行湿处理的设备和方法及其中所用的筒体。该设备包括：处理槽，其中容纳并处理待被处理的物体；多个晶圆支撑杆，可旋转地安装在处理槽中且具有形成在晶圆支撑杆的表面中的沟槽，以支撑物体，使得晶圆在垂直于处理槽底面的方向上直立；以及连...
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