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本发明提供了一种样品定位标记的形成方法，包括：提供样品，在所述样品表面涂覆一层透光有机材料，用激光反应的方法去掉部分所述透光有机材料作为定位标记。通过在样品表面涂布一层透光有机材料以及用低能量激光反应的方法对样品进行定位标记，避免了对样品表...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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