下载基板定位装置的技术资料

文档序号:9213294

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一种基板定位装置,包括能够逐一传递基板水平移动的基准面,首先端边定位器止挡于基准面移动的基板,接着侧边定位器经由接触而后导正已止挡于基准面的基板,最后升降器通过由下往上的移动而抬举基板脱离基准面。通过机械组件来止档暨定位基板,以免除或省略感...
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