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一种用于制备双层ITO导电膜的卷绕镀膜机制造技术
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下载一种用于制备双层ITO导电膜的卷绕镀膜机的技术资料
文档序号:9207785
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本实用新型涉及一种磁控溅射卷绕镀膜设备,尤其涉及一种用于制备双层ITO导电膜的卷绕镀膜机。它包括放卷室,工艺室,收卷室,放卷室内含有除水器,捕水器及导向辊轴;工艺室内含有镀膜鼓、预处理装置、第一溅射室、捕水汽装置、第二溅射室、第一捕水汽装置...
该专利属于南昌欧菲光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南昌欧菲光科技有限公司授权不得商用。
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