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一种形成化学机械平坦化（CMP）抛光垫修整器的方法，该方法包括将多个磨料颗粒放置在一个基底的主表面上、在这些磨料颗粒的外表面处形成一种粘合组合物、并且在该基底的表面和这些磨料颗粒的一部分上沉积一个粘合层，以便将这些磨料颗粒固定到该基底的主表...该专利属于法国圣戈班磨料磨具公司;圣戈班磨料磨具有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过法国圣戈班磨料磨具公司;圣戈班磨料磨具有限公司授权不得商用。