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一种改善微弧氧化技术制备BaTiO3和SrTiO3介电薄膜表面形貌的方法技术
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文档序号:9138947
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本发明公开了一种有效改善微弧氧化技术制备BaTiO3和SrTiO3介电薄膜表面形貌的方法。该工艺方法包括配制电解液、设置直流微弧氧化电源电参数和微弧氧化处理三个步骤,其中电解液采用M(OH)2或M(CH3COO)2溶液中的任意一种(M为Ba...
该专利属于广东技术师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过广东技术师范学院授权不得商用。
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