温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种具有密封窗口的化学机械抛光垫，所述抛光垫包含具有抛光表面、平行于所述抛光表面的抛光层界面区域和外周边的抛光层；具有底表面、平行于底表面的多孔子垫层界面区域和外周边的多孔子垫层；压敏粘合剂层；以及透光性窗口元件。本发明还提供了...
该专利属于罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。