下载一种无阀压电微量泵的技术资料

文档序号:9126100

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本实用新型公开了一种无阀压电微量泵,包括振动板、泵体(8)和通过螺栓(6)连接在泵体(8)上的上盖板(1),上盖板(1)和泵体(8)之间构成空腔,振动板设置在上盖板(1)和泵体(8)之间,空腔由振动板分隔为进液负压腔和出液压力腔,振动板由振...
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