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基于AlOx/Ag/ZnO结构的高反射高绒度背电极制造技术
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下载基于AlOx/Ag/ZnO结构的高反射高绒度背电极的技术资料
文档序号:9114408
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一种基于AlOx/Ag/ZnO结构的高反射高绒度背电极,由衬底、对长波光陷光作用显著的大绒面结构的AlOx薄膜、对太阳光具有宽谱域高反射特性的Ag薄膜和介质层ZnO薄膜组成并形成叠层结构,其制备方法是:将清洗处理后的衬底放入沉积系统中,依次...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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