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本发明公开了一种基于滚珠定位的三自由度精密调节装置。该装置安装在浸没式光刻机的主框架和浸没单元之间，其安装基板和连接板之间通过三组相同的运动支链以并联方式相连，每组运动支链由安装基板到连接板方向依次由直线运动副、滚珠固定块、滚珠和两根导向圆...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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