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激光扫描光栅补偿测量齿轮形貌的装置及方法属于激光检测技术领域。现有技术测量精度低。本发明之测量装置指由激光位移传感器和反射镜组成位移零位测量系统；角位移传感器、z向光栅尺、主调节光栅尺及微调节光栅尺分别与专用微处理器连接。在本发明之测量方法...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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