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真空抽吸装置制造方法及图纸
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文档序号:910563
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一种转换阀(14),布置在真空抽吸装置(10)的压力流体供给源(12)和抽气器(16)之间。转换阀(14)的供给孔(24)与压力流体供给源连接,且转换阀(14)的出口孔(26)与抽气器(16)连接。此外,当抽吸垫(20a、20b、20c)在...
该专利属于SMC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过SMC株式会社授权不得商用。
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