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一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器制造技术
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下载一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器的技术资料
文档序号:9087906
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本发明公开了一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器,包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对。电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状,外侧边缘为相互平行的直线,两个电极的长度相同。两个电极激发出的...
该专利属于山东科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东科技大学授权不得商用。
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