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一种单晶铜键合线清洗装置，包括集液箱、固定架、清洗罐，其特征是：集液箱为长方体有上盖，两个侧面上设有进线孔和出线孔，在出线孔一端的上方设有循环管入口，底部设有排液口，排液口与循环管相连通，集液箱装有清洗液。集液箱中央放置一个固定架，固定架上...
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