下载微多孔陶瓷载台的技术资料

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一种微多孔陶瓷载台包括一基座、一平台及多数微多孔陶瓷板。其中,该基座的顶面具有多数导气孔,一侧面具有与该多数导气孔相通的一气口,该气口供连接到一负压装置。该平台由多数平台单元拼接组合在该基座的顶面而成,供用于承载一液晶显示面板。该平台单元为...
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