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用于制作氮化镓基发光器件的非平面键合方法技术
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文档序号:8981438
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用于制作氮化镓基发光器件的非平面键合方法,涉及氮化镓基发光器件。制作具有蓝宝石基底的GaN基外延片;在外延片上制作导电层、电流限制层、金属接触层和分布布拉格反射镜中的至少一种,形成非平面结构;在非平面结构上制作金属层;在制作金属层后的非平面...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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