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一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构制造技术
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文档序号:8945226
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本实用新型涉及一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构,包括涡轮丝杆升降机、顶升轴、轴承座、旋转轴、夹持组件及支架,所述涡轮丝杆升降机上设有丝杆,所述丝杆通过将其一端插设在所述顶升轴的一端内与所述顶升轴活动连接,所述顶升轴的另一端通过所述轴承座与所述...
该专利属于河北同光晶体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北同光晶体有限公司授权不得商用。
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