下载一种硅纳米锥复合石墨烯纳米片的材料及其制备方法的技术资料

文档序号:8902267

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本发明提供的一种硅纳米锥复合石墨烯纳米片的材料及其制备方法,硅纳米锥复合石墨烯纳米片的材料包括:表面具有硅纳米锥阵列的衬底;在硅纳米锥阵列的表面上形成有片状的少层石墨烯纳米片层。制备方法包括如下步骤:1)以感应耦合等离子体刻蚀(ICP)制备...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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