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本发明涉及一种化学浴沉积设备，用以沉积一薄膜于薄膜太阳能电池用的基材，包括：一机架、一基材托座、一覆盖罩、一摆动机构以及一离心运动机构。通过摇摆机构及离心运动机构，驱动该基材托座进行摇摆及离心运动，以产生该反应溶液相对该基材的运动，但维持该...
该专利属于纯化科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纯化科技股份有限公司授权不得商用。

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