下载一种新型双层结构的石英舟的技术资料

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一种新型双层结构的石英舟,包括卡槽棒和支撑卡槽棒的支撑架,其中卡槽棒上设有固定硅片的卡槽,支撑架为上下两层结构,各个支撑架均设有底部卡槽棒和侧边卡槽棒,其中底部卡槽棒和侧边卡槽棒上的卡槽为相对应的倾斜结构。本实用新型结构设计新颖,将石英舟设...
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