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用于多晶硅还原炉的底盘组件制造技术
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下载用于多晶硅还原炉的底盘组件的技术资料
文档序号:8815694
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本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉的底盘组件,包括:底盘本体;二十四对电极,所述二十四对电极设在所述底盘本体上且分别分布在第一至第四圈上,所述第一至第四圈为以所述底盘本体的中心为中心且由内向外依次增大的四个同心正八边形;进气系统,所述进气...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。
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