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本发明公开了一种基于径向偏振激光驱动的极紫外光源产生装置及方法，包括径向偏振脉冲激光器、激光放大器、收集镜和液滴发生器；径向偏振脉冲激光器输出低功率高重复率的径向偏振脉冲激光，激光放大器将低功率高重复率的径向偏振脉冲激光进行放大后输出高功率...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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