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具有底部源极的功率MOSFET器件及其制作方法技术
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文档序号:8775150
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一种具有底部源极的功率MOSFET器件及其制作方法,在晶片正面形成有相绝缘的栅极和源极。该源极上电镀有源极凸块;由塑封体包封栅极,以及源极和源极凸块与栅极之间的第一绝缘层;源极金属层形成在源极凸块暴露的表面上,构成源极与外部器件电性连接的区...
该专利属于万国半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过万国半导体股份有限公司授权不得商用。
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