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本实用新型涉及一种抽真空系统装置。所述抽真空系统装置包括机械泵1、分子泵2、接口法兰3、法兰后阀4、保护阀5、分子泵前阀6及支管阀7。机械泵1、分子泵2及接口法兰3是由塑钢结构的硬管连接在一起，法兰后阀4、保护阀5、分子泵前阀6及支管阀7分...
该专利属于台山市华兴光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台山市华兴光电科技有限公司授权不得商用。

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