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一种超精密加工用工件轴数控运动平台装置，属于研抛加工技术领域。为了解决利用现有的工件主轴系统存在结构复杂、体积庞大，并且对于高精度直线电机不能充分满足防尘、隔磁、防切削液要求，不适于在小口径非球曲面加工机床上应用的问题。XY精密移动平台置于...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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