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本实用新型涉及一种气相沉积设备。本实用新型的一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置，所述装置包括一石英管，所述石英管输入端通过法兰连接有充气系统，所述石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统，所述石英管外包围有加热炉膛。本实用新...
该专利属于厦门烯成新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门烯成新材料科技有限公司授权不得商用。

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