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本实用新型公开了全自动高精度光学镀膜机用光学膜厚监控系统，包括调制器、分光器、数据采集器、计算机、控制器、参考光路和测试光路；调制器的输出端与分光器的输入端连接；数据采集器的输入端分别与参考光路的第一锁相放大器和测试光路的第二锁相放大器连接...
该专利属于成都新越真空机械设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都新越真空机械设备有限公司授权不得商用。

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