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可变电容传感器及其制造方法技术
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文档序号:8629442
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本发明涉及一种可变电容传感器,所述可变电容传感器包括:第一导电电极,其包括电互连的第一导电片;第二导电电极,其包括电互连的第二导电片,其中所述第一导电片与所述第二导电片至少部分地交错,以及其中所述第二导电电极与所述第一导电电极电绝缘;以及微...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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