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真空镀膜用离子轰击板机构制造技术
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文档序号:8602407
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一种真空镀膜用离子轰击板机构,它包括电源、与电源阴极相连的充气管(1)、与电源阳极相连的冷却水管(2)和绝缘件(7),所述的冷却水管(2)与充气管(1)相对设置,待轰击基材(8)从冷却水管(2)和充气管(1)间的夹隙中通过,进行离子轰击,所...
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