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可变环境下微纳传感器的自动加载平台制造技术
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文档序号:8592517
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本发明属于微纳器件标定测试的技术领域,具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台,解决了目前由于微纳器件,如压力传感器、加速度传感器等的特殊性,大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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