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激光加工装置制造方法及图纸
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文档序号:857353
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本发明揭示一种激光加工装置,包括变化由激光振荡器输出的激光的方向的偏转装置,以及使由前述偏转装置射入的激光折射而在加工对象工件上成像的聚焦透镜。在这种激光加工装置中,组入根据聚焦透镜温度、使由多片的透镜组成的聚焦透镜的透镜间的相对位置变化的...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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