温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，包括钢刷轴，钢刷轴上套设有以钢刷轴为中心轴旋转的钢刷套，所述钢刷套的外壁具有刷齿，所述钢刷轴的端部具有至少两个固定凸起或固定凹槽。所述固定凸起或固定凹槽为三个，呈品字形分布...
该专利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。