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本发明提供一种激光加工装置，加工用激光极力地聚光于不离开指定位置的位置处。该激光加工装置包括：物镜单元（５），其包括，加工用物镜（４２），其使加工用激光以及用于测定加工对象物的主面的变位的测距用激光聚光于同一轴线上；接收测距用激光的主面的反...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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