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提供了用于分析具有未知参数的样本衍射结构的散射测量模型优化参数的自动确定。预处理器根据多个浮动的模型参数，确定简化的模型参数集合，该简化的模型参数集合能够基于从关于每个参数的测得的光谱信息的雅克比矩阵中确定的用于每个参数的相对精度，合理地在...该专利属于克拉-坦科股份有限公司;东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过克拉-坦科股份有限公司;东京毅力科创株式会社授权不得商用。