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本发明提供一种MEMS麦克风,包括MEMS芯片、ASIC芯片,第一、第二、第三线路板基板和框架基板,所述第一线路板基板和所述第二线路板基板相对设置,所述第三线路板基板位于上述两者之间,所述框架基板分别与所述第一、第三线路板基板固定,所述第二...该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种MEMS麦克风,包括MEMS芯片、ASIC芯片,第一、第二、第三线路板基板和框架基板,所述第一线路板基板和所述第二线路板基板相对设置,所述第三线路板基板位于上述两者之间,所述框架基板分别与所述第一、第三线路板基板固定,所述第二...